島津EDX-7000/8000X射線熒光就是被分析樣品在X射線照射下發(fā)出的X射線，它包含了被分析樣品化學(xué)組成的信息，通過對(duì)X射線熒光的分析確定被測(cè)樣品中各組份含量的儀器就是X射線熒光分析儀。

 

　　島津EDX-7000/8000X射線具有波粒二象性，既可以看作粒子，也可以看作電磁波。看作粒子時(shí)的能量和看作電磁波時(shí)的波長(zhǎng)有著一一對(duì)應(yīng)關(guān)系。這就是普朗克公式：E＝hc/λ。

 

　　無(wú)論是測(cè)定能量，還是波長(zhǎng)，都可以實(shí)現(xiàn)對(duì)相應(yīng)元素的分析，其效果是一樣的。當(dāng)能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線與原子發(fā)生碰撞時(shí)，驅(qū)逐一個(gè)內(nèi)層電子而出現(xiàn)一個(gè)空穴，使整個(gè)原子體系處于不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài)，激發(fā)態(tài)原子壽命約為10－12－10－14s，然后自發(fā)地由能量高的狀態(tài)躍遷到能量低的狀態(tài)。

 

　　這個(gè)過程稱為馳豫過程。馳豫過程既可以是非輻射躍遷，也可以是輻射躍遷。當(dāng)較外層的電子躍遷到空穴時(shí)，所釋放的能量隨即在原子內(nèi)部被吸收而逐出較外層的另一個(gè)次級(jí)光電子，此稱為俄歇效應(yīng)，亦稱次級(jí)光電效應(yīng)或無(wú)輻射效應(yīng)，所逐出的次級(jí)光電子稱為俄歇電子。它的能量是特征的，與入射輻射的能量無(wú)關(guān)。

 

　　根據(jù)分光方式的不同，x射線熒光分析可分為能量色散和波長(zhǎng)色散兩類，也就是通常所說的能譜儀和波譜儀。通過測(cè)定熒光x射線的能量實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品分析的方式稱之為能量色散x射線熒光分析，相應(yīng)的儀器稱之為能譜儀，通過測(cè)定熒光x射線的波長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品分析的方式稱之為波長(zhǎng)色散x射線熒光分析，相應(yīng)的儀器稱之為X射線熒光光譜儀。

 

　　X射線測(cè)量是隨機(jī)事件的統(tǒng)計(jì)測(cè)量，是由統(tǒng)計(jì)規(guī)律決定的，計(jì)數(shù)的絕對(duì)量取決于測(cè)量時(shí)間，并直接決定著測(cè)量誤差的大小，足夠長(zhǎng)的測(cè)量時(shí)間是測(cè)量精度的前提條件，為了保證測(cè)量精度，要有足夠的測(cè)量時(shí)間以及足夠的計(jì)數(shù)率。